看板 Gossiping作者 cigaishen (cigaishen)標題 [新聞] 台積電副總經理林本堅院士 將赴清大時間 Fri Jul 22 13:47:36 2016
1.媒體來源:
工商時報
以浸潤式（Immersion）微影技術改寫全球半導體微影發展的台積電前研發副總經理暨中
研院院士林本堅，今年加入清華大學擔任講座教授。林本堅說，除了專業知識外，他還要
教學生如何「把心放上去」，解決未來將面對的各種難題。
林本堅去年底自台積電退休後，許多大學都紛紛登門拜訪，希望能延攬半導體界的「國寶
」。清大早在去年中就已經透過「侯金堆講座」極力爭取林本堅加入清大研究團隊，終於
獲得他的首肯。
林本堅表示，他原規畫退休之後，只做兩件事，就是傳福音及幫助人得到更豐富的生命，
後來一想，教書也是幫助人得到豐富生命的好方法。林本堅說，「我在產業界服務了46年
，學到很多，也希望能教給下一代。除了教導專業知識外，我更希望能激發學生創意，教
導他們解決問題以及團隊合作的能力。」
過去半導體晶片製程主要採用乾式曝光，以空氣為鏡頭和晶圓之間的介質，林本堅創全球
之先提出的浸潤式微影技術，則是以水為介質，在鏡頭和晶圓之間注入水，光的波長在水
中縮短為134奈米，得以刻出更精密的晶片，這項創新也改寫了半導體業十幾年來的發展
藍圖。
清華大學電機系主任徐碩鴻說，林本堅院士是
改寫半導體歷史的巨擘，也是光學微影技術
的先驅者，清華大學能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教，非常榮幸。
清華大學光電所自林本堅加入研究團隊後，已舉辦3場「林本堅院士學術沙龍」，邀請林
本堅與清華教授討論光電領域發展以及微影製程研究。林本堅表示，清華光電所教授們的
研究題目有些讓他很有興趣，希望未來能與教授合作，協助教授研究發展。
林本堅曾任職於IBM在美國的研究中心，在IBM工作22年後，林本堅選擇在美國自行創業將
近10年。之後在台積電力邀下，林本堅於2000年加入台積電，並在2002年開始推動浸潤式
微影技術，此項技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大。
5.備註:
看來清大的平均研究力又要上升了
但合併後是否會被拉低? 或是短空長多幾年後又拉回正成長
可以再觀察
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