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看板 MobileComm
作者 標題 [情報] 一台EUV光刻機一天耗電達3萬度
時間 Mon Apr 9 15:15:50 2018
據了解，目前半導體制程的主流光源是氬氟雷射，波長為 193 納米，當晶體管尺度已微
縮到幾十納米時，就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般，生產起來有點力不從心。而極紫外
光的波長僅有 13.5 納米，這也使得 EUV光刻機成為了攻克7nm、5nm甚至更高制程工藝的
關鍵。
縮到幾十納米時，就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般，生產起來有點力不從心。而極紫外
光的波長僅有 13.5 納米，這也使得 EUV光刻機成為了攻克7nm、5nm甚至更高制程工藝的
關鍵。
而EUV光刻機除了售價高昂之外，其耗電也是非常之驚人！
“極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收，連空氣都不
透光，所以整個生產環境必須抽成真空；同時，也無法以玻璃透鏡折射，必須以硅與鉬製
成的特殊鍍膜反射鏡，來修正光的前進方向，而且每一次反射仍會損失 3 成能量，但一
台 EUV 機台得經過十幾面反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概只能剩下不到
透光，所以整個生產環境必須抽成真空；同時，也無法以玻璃透鏡折射，必須以硅與鉬製
成的特殊鍍膜反射鏡，來修正光的前進方向，而且每一次反射仍會損失 3 成能量，但一
台 EUV 機台得經過十幾面反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概只能剩下不到
2% 的光線。”這也是 EUV 機台如此耗電的主因之一。
另外需要指出的是，如此大的耗電量也不可避免的帶來了很大的發熱量，因此需要部署相
應的冷卻系統，而這也將非常的耗電。
http://cj.sina.com.cn/article/detail/5772303575/363681?column=tech&ch=5
堪比比特币工厂！一台EUV光刻机一天耗电达3万度__财经头条
近日，比特币价格疯涨已破2.7万大关，创下历史新高！与此同时，“挖矿”业也是高烧不退。此前众多媒体曾曝光过很多“比特币工厂”，一些大的工厂，... ...
近日，比特币价格疯涨已破2.7万大关，创下历史新高！与此同时，“挖矿”业也是高烧不退。此前众多媒体曾曝光过很多“比特币工厂”，一些大的工厂，... ...
‧一套EUV光刻系統包含10萬個零件、3千條電線、4萬個螺栓與2公里長的軟管
‧一套EUV光刻系統重約18萬公斤
‧一套EUV光刻系統需藉由40個貨櫃、20台卡車以及3架貨機才能完成運送
‧一套EUV光刻系統包含一個重達7,600公斤的大型真空室 (vacuum chamber)
http://www.semi.org.cn/magazine/article.asp?id=2201
什么是极紫外光（EUV）光刻？-SEMI China
什么是极紫外光（EUV）光刻？,半导体制造杂志,SEMI China ...
什么是极紫外光（EUV）光刻？,半导体制造杂志,SEMI China ...
所以在台灣要有光刻機 應該是非常難的事吧~
電力吃緊 然後台灣又特別熱 不像韓國一樣 天氣冷好散熱
之前台媒報導台GG一口氣買了五台 不知是真是假??
一天三萬度一年就是一千萬度 五台就是五千萬度
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※ 文章代碼(AID): #1QonCu1- (MobileComm)
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推 : 維大力?1F 04/09 15:17
推 : 這跟手機版有關嗎？2F 04/09 15:17
→ : 雖然soc跟這個有關
→ : 雖然soc跟這個有關
推 : 今天夏天又要限電囉4F 04/09 15:18
推 : 沒關係，台灣人有愛5F 04/09 15:23
推 : 挖 那台灣有這樣的環境給機器嗎...？6F 04/09 15:26
推 : gg都發重訊了還在是真是假7F 04/09 15:32
推 : 這麼省哦，gg還不多買幾台8F 04/09 15:34
噓 : 這樣一台也才1250千瓦而已吧9F 04/09 15:37
→ : 如果這點用電量都負擔不了台灣可以亡國了
→ : 如果這點用電量都負擔不了台灣可以亡國了
噓 : 少見多怪11F 04/09 15:38
推 : 1250千瓦wow12F 04/09 15:42
推 : 不懂得 跑去抵制GG13F 04/09 15:53
推 : 用愛發電14F 04/09 15:56
推 : 電廠生電又要開始抖了！可以叫那些用愛發電的人去15F 04/09 16:11
→ : ？
→ : ？
推 : 就5nm預計用電量是28nm的1.5倍 產值是幾倍自己算 這17F 04/09 16:14
→ : 點電都沒辦法給 大家回去種田算了 只會韓國好棒棒不
→ : 曉得是哪來的想法
→ : 點電都沒辦法給 大家回去種田算了 只會韓國好棒棒不
→ : 曉得是哪來的想法
→ : 臺灣還真的有可能這點電都給的很困難..用愛發電吧20F 04/09 16:27
推 : 台灣就是負擔不了啊 不然你們全部給我用愛發電21F 04/09 16:27
→ : 不要夏季頻40度高溫22F 04/09 16:31
推 : 不過既然這個光譜這麼容易衰減，為什麼不要用更高23F 04/09 16:33
→ : 的X光呢？波長更短能夠出產更精細的半導體產品。
→ : 的X光呢？波長更短能夠出產更精細的半導體產品。
→ : 電化學或冶金工業 耗能隨便都超出這個數字好幾倍吧25F 04/09 16:37
噓 : 只有核能能發電??核廢料減量vs碳減量，核事故vs一26F 04/09 16:37
→ : 般電廠事故，沒有對錯只講好的就是幹話.
→ : 般電廠事故，沒有對錯只講好的就是幹話.
→ : 這點用電量在整體工業用電根本就是小兒科28F 04/09 16:40
→ : ASML NXE3100的年代，差不多iPhone 4S的時候……那29F 04/09 16:45
→ : 時就知道很耗電了好嗎………
→ : 時就知道很耗電了好嗎………
噓 : 關這個板屁事31F 04/09 16:52
推 : Track+Scan 合併平均差不多6xkWh32F 04/09 17:02
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