台積電爆發2奈米機密外洩後，已由台灣高等檢查署介入調查，涉案的台積電員工及前員工被開除或解雇後也遭羈押，因全案進入司法調查，台積電和東京威力科創對此三緘其口。但據調查， 台積電調派專案人員協助檢調進行調查，由於主要協助項目包括審視外洩2奈米晶片製程機密的重要及其價值，消息人士研判，台積電可能在取得檢方相關蒐證證據後，向東京威力科創求償。