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作者 cosmite (焼き団子)
標題 [新聞] 下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，
時間 Wed Dec 22 18:11:27 2021

下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，屆時再掀資本支出大戰

https://bit.ly/3yOrQoZ
下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，屆時再掀資本支出大戰 | TechNews 科技新報
[圖]
半導體先進製程關鍵之一就是曝光設備，原因是一方面曝光設備佔所有先進製程製造設備成本 22% 左右，也佔製造工時 20% 左右。另一方面全球僅荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 生產先進極紫外光曝光設備 (EUV)，EUV 又是進入 10 奈米以下先進製程的必備關鍵。半導體製造商要跨入先進製程，向 ASML ...

 


發布日期 2021 年 12 月 22 日 15:00

半導體先進製程關鍵之一就是曝光設備，原因是一方面曝光設備佔所有先進製程製造設備
成本 22% 左右，也佔製造工時 20% 左右。另一方面全球僅荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 生產
先進極紫外光曝光設備 (EUV)，EUV 又是進入 10 奈米以下先進製程的必備關鍵。半導體
製造商要跨入先進製程，向 ASML 採購 EUV 曝光設備就必不可少。


目前 ASML 推出三代 EUV 曝光設備，分別是 TWINSCAN NXE: 3400B、NXE: 3400C、NXE:
3600D，數值孔徑都為 0.33。理論三代 EUV 曝光設備生產的晶片精度最多 2 奈米左右，
一旦進入 2 奈米節點以下，也就是埃米（1 埃米＝0.1 奈米）時，ASML 還得研發更高精
準度的曝光設備才行，稱為 High NA（高數值孔徑）EUV 曝光設備。


ASML 也早有準備。下一代高精準度 EUV 曝光設備型號為 EXE: 5000，數值孔徑為 0.55
，可用於 2 奈米節點以下晶片製造，如 1.4 奈米（14 埃米）、 1 奈米（10 埃米）等
製程。2020 年底有媒體報導，ASML 已基本研發完成高精準度 EUV 曝光設備，且正在試
產，預計 2022 年就開始商用。日前比利時微電子研究中心（imec）也表示，ASML EXE:
5000 EUV 曝光設備將在 2022~2023 年起供貨。

雖然 ASML 2022~2023 年提供 EXE: 5000 高精準度 EUV 曝光設備，不過要以新曝光設備
生產 2 奈米節點以下先進製程晶片，至少要到 2025 年後。據 Imec 11 月 ITF 大會先
進製程節點演進狀況，2025 年開始推出 A14（A14＝1.4 奈米）製程節點、2027 年推出
 A10（10＝1 奈米）製程節點、2029 年推出 A7（A7＝0.7 奈米）製程節點。


市場分析師也表示，ASML NXE: 5000 型號 0.55 高數值孔徑 EUV 曝光設備，預計每套售
價高達 3 億美元（約新台幣 83.5 億元），是 0.33 孔徑 EUV 曝光設備兩倍，對半導體
製造廠是另一驚人資本支出高峰期，目前僅台積電、三星、英特爾等三家廠商有能力持續
研發先進製程，未來競爭高數值孔徑 EUV 曝光設備搶得先機，將是難以避免的戲碼。




心得/評論：                             ※必需填寫滿20字
下世代EUV價錢為現在的兩倍 會增加台積電更多的製造成本吧

除非台積電把晶圓售價提高 不然獲利是會下降的

若是晶圓售價提高 那終端產品的售價也會提高對吧

對消費者來說 勢必又掀起一場價格戰爭

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 60.250.30.118 (臺灣)
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※ 編輯: cosmite (60.250.30.118 臺灣), 12/22/2021 18:12:10
推 AN94: 完了 台積成本大增1F 12/22 18:15
推 Aixtron: 與其擔心這個，不如擔心這台吃多少電2F 12/22 18:19
→ saisai34: GG轉嫁能力強 大利多3F 12/22 18:20
推 kill2400: 600盤10年
外資早就提醒了 dead money 10年 每年增加的獲利早就被資本資出吃掉了 600盤10年不要不信4F 12/22 18:20
推 u97127011: asml無腦多
GG不動沒關係  asml繼續給我噴起來7F 12/22 18:22
→ saisai34: 資本支出增加 對手不跟 GG就繼續吃光市佔 有訂價權9F 12/22 18:23
推 jimmyid4: SMH你懂的10F 12/22 18:23
→ saisai34: 對手跟了 GG良率規模都比較強 過幾年三星i皇賠死
GG優勢更強 短空長多格局不變11F 12/22 18:24
推 u97127011: smh好東西  大推13F 12/22 18:25
推 huk40199: 600十年內天花板14F 12/22 18:25
推 aegis43210: 三星和i皇營收比較高，比燒錢不會輸15F 12/22 18:27
推 apple123773: 這台用電 聽說很恐怖16F 12/22 18:31
推 maxboy06: 沒事兒 你各位點蠟燭電給gg用17F 12/22 18:32
推 a1106abc: GG:先來10台18F 12/22 18:35
推 huk40199: 土著不需要用電只有心中默唸我家房子漲很多
就可以撐過去沒事的19F 12/22 18:36
推 bearian: 電，ㄧ定夠，不要危言聳聽21F 12/22 18:42
推 horseorange: 10台太少22F 12/22 18:43
推 chobit618: 緊張什麼，三星英特爾難道就不用買嗎？條件都一樣23F 12/22 18:45
推 okstephen1: 與其擔心東擔心西 不如直接ASML24F 12/22 18:46
→ pf775: 半導體真正核心技術都還是掌握在歐美日大廠手上25F 12/22 18:47
推 a810086: 80億元可以請幾個工程師26F 12/22 18:47
推 stosto: 一台十萬的手機快到了
三星燒錢不會死勒….他們都燒到快賠
錢了，怎麼可能一直挖東牆給semi燒27F 12/22 18:47
→ ILike58: 就是要三星繼續跟啊，看他多能撐，其他投資對三星算小錢，半導體可不是，到時全世界就一間一線半導體廠，其餘都二線廠就爽了。30F 12/22 18:51
→ kuma660224: EUV本來就明顯是資本之戰
所以GF聯電都覺得沒錢就別跟了
而GG已經買走目前一半已出貨量
三星的機台不多 還要分給記憶體部分用
就算同樣機器 效率差距也拉開了
因為不是機器能開機就效率一樣33F 12/22 18:53
推 NEX4036: 老蘇果然先知 存股燒錢的台GG 不如存股紅茶店39F 12/22 18:56
→ kuma660224: GG有全世界廠商出錢讓他燒
連intel都想出錢給GG包廠包線40F 12/22 18:57
推 apolloapollo: 一年不開張 開張吃80年42F 12/22 18:57
→ kevin61716: 吃電怪獸43F 12/22 19:01
→ fallinlove15: 台積：便宜44F 12/22 19:07
推 jiansu: 之前有人說 有high-NA intel才會想大量生產euv先進製程  之前單會給台積電 台積電會好到這個量產 之後intel順利的話就會急起直追45F 12/22 19:09
推 aegis43210: 三星記憶體賺到爆，你說會賠錢??
GG的n3用到了雙重曝光，i皇不想這樣玩48F 12/22 19:10

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