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作者
標題 [新聞] 劉德音：台積３奈米進度超前
時間 Fri Feb 19 10:28:58 2021
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標題 [新聞] 劉德音：台積３奈米進度超前
時間 Fri Feb 19 10:28:58 2021
https://www.chinatimes.com/newspapers/20210219000118-260202 中時
劉德音：台積３奈米進度超前 - 財經要聞 - 工商時報
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晶圓代工龍頭台積電報喜！董事長劉德音近日受邀於2021年國際固態電路會議（ISSCC 2021）開場線上專題演說時指出，台積電3奈米製程依計畫推進，甚至比預期還超前了一些，3奈米及未來主要製程節點將如期推出並進入生產 ...
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劉德音：台積３奈米進度超前
04:10 2021/02/19 工商時報 涂志豪
晶圓代工龍頭台積電報喜！董事長劉德音近日受邀於2021年國際固態電路會議（ISSCC
2021）開場線上專題演說時指出，台積電3奈米製程依計畫推進，甚至比預期還超前了一
些，3奈米及未來主要製程節點將如期推出並進入生產。台積電3奈米製程預計今年下半年
試產，明年下半年進入量產。
些，3奈米及未來主要製程節點將如期推出並進入生產。台積電3奈米製程預計今年下半年
試產，明年下半年進入量產。
劉德音在演說時雖未透露3奈米進度會超前多少，但此一消息仍令市場感到振奮。
劉德音董事長以「釋放創新未來（Unleashing the Future of Innovation）」為演說主
題，指出半導體製程微縮腳步並未減緩，摩爾定律仍然有效，台積電3奈米比預期進度超
前，至於2奈米之後的電晶體架構將轉向環繞閘極（GAA）的奈米片（nano-sheet）架構，
而極紫外光（EUV）技術可支援到1奈米。
題，指出半導體製程微縮腳步並未減緩，摩爾定律仍然有效，台積電3奈米比預期進度超
前，至於2奈米之後的電晶體架構將轉向環繞閘極（GAA）的奈米片（nano-sheet）架構，
而極紫外光（EUV）技術可支援到1奈米。
劉德音指出，半導體整合每踏出成功的一步，都需要付出愈來愈多的努力，而半導體技術
剛推出時，雖然只有少數人採用，但是最後成果會是由大眾享受，「台積電製程及製造能
力可以讓世界上多數人受益」。
剛推出時，雖然只有少數人採用，但是最後成果會是由大眾享受，「台積電製程及製造能
力可以讓世界上多數人受益」。
台積電2020年推出5奈米製程並進入量產，與7奈米相較，邏輯密度提升1.83倍，運算速度
增加13％，運算功耗下降21％。台積電預計2022年推出3奈米製程，與5奈米相較邏輯密度
提升1.7倍，運算速度提升11％且運算功耗可減少27％。
增加13％，運算功耗下降21％。台積電預計2022年推出3奈米製程，與5奈米相較邏輯密度
提升1.7倍，運算速度提升11％且運算功耗可減少27％。
劉德音也提及EUV微影技術的重要性與日俱增，他指出，EUV雖突破晶片尺寸限制，能使用
較少層數的光罩，但產量仍是問題。相較於過去採用的浸潤式微影技術，EUV的功耗明顯
提高，為此台積電已在350W雷射光源技術上獲得突破，可支援5奈米量產，甚至能支援到
更先進的1奈米製程節點。
較少層數的光罩，但產量仍是問題。相較於過去採用的浸潤式微影技術，EUV的功耗明顯
提高，為此台積電已在350W雷射光源技術上獲得突破，可支援5奈米量產，甚至能支援到
更先進的1奈米製程節點。
台積電基於量產上的考量，5奈米及3奈米仍然採用鰭式場效電晶體（FinFET）架構，但在
材料創新上有所突破，在5奈米製程導入高遷移率通道（HMC）電晶體，將鍺（Ge）整合到
電晶體的鰭片（fin）當中，導線也採用新一代的鈷及釕等材料來持續挑戰技術限制。至
於2奈米之後，台積電將轉向採用GAA的奈米片架構，提供比FinFET架構更多的靜電控制，
改善晶片整體功耗。
材料創新上有所突破，在5奈米製程導入高遷移率通道（HMC）電晶體，將鍺（Ge）整合到
電晶體的鰭片（fin）當中，導線也採用新一代的鈷及釕等材料來持續挑戰技術限制。至
於2奈米之後，台積電將轉向採用GAA的奈米片架構，提供比FinFET架構更多的靜電控制，
改善晶片整體功耗。
台積電日前宣布將在日本成立研發中心擴展3D IC材料研究，劉德音也提及台積電在新材
料上的技術創新，包括六方氮化硼（hBN）已接近實現量產，與台灣學界團隊合作成功以
大面積晶圓尺寸生長單晶氮化硼等。他也指出，系統整合是半導體未來發展方向，
料上的技術創新，包括六方氮化硼（hBN）已接近實現量產，與台灣學界團隊合作成功以
大面積晶圓尺寸生長單晶氮化硼等。他也指出，系統整合是半導體未來發展方向，
Chiplet（小晶片）是能讓技術朝向正確方向發展的關鍵，而台積電的SoIC先進封裝技術
可實現3D晶片堆疊。
https://i.imgur.com/i1zs3fV.jpg
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推 : 一奈米後是半奈米46F 02/19 12:25
推 : 2奈米下就更難突破了吧47F 02/19 12:26
推 : 皮米啊48F 02/19 12:28
推 : 矽原子直徑0.22奈米49F 02/19 12:40
推 : 之前去RD說明會 他們廠長說1nm已經在做了50F 02/19 12:50
噓 : 還在奈米喔 什麼時候到埃？51F 02/19 13:01
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