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作者 pl132 (pl132)
標題 [新聞]陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學家林楠主導
時間 Fri May  2 12:32:13 2025

陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導

https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm
陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導 | ETtoday大陸新聞 | ETtoday新聞雲
[圖]
大陸中科院上海光學精密機械研究所近日傳出前ASML首席科學家林楠率領研究團隊，繞過二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固體激光器技術，成功開發出LPP-EUV光源，已達國際領先水準，對大陸國產芯片（晶片，下同）及自主研發EUV光刻機具重大意義和突破。(上海,晶片,芯片,大陸,光學,林楠,ASML,光刻 ...

 

林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人
員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究，
未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。


公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二
氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由
美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。


在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳
激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固
體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到
商用光源5.5%轉化效率的一半。


至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導
，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程
部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員，
曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。


林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝
爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。

截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品
轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.177.1.4 (臺灣)
※ 作者: pl132 2025-05-02 12:32:13
※ 文章代碼(AID): #1e54hFB_ (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1746160335.A.2FF.html
噓 zonppp: 遙遙領先~1F 36.226.216.17 台灣 05/02 12:40
推 jeff0010053: 三星Intel 拿euv也沒做比較好.. 先進製程很多奇怪的問題不是只卡在euv 而已2F 63.140.2.151 香港 05/02 12:48
推 godog: 想看梁孟松有EUV後 可以把中國半島體 推進到什麼程度5F 60.248.111.135 台灣 05/02 12:56
推 FK6819: 梁孟松在三星不是示範過有EUV了嗎？7F 203.66.245.211 台灣 05/02 13:37
推 ohohohya: 嗯嗯 intel好像也很多台euv 然後就沒有然後了9F 111.80.225.182 台灣 05/02 13:50
噓 rodion: 路你老11F 136.226.241.23 台灣 05/02 14:20
推 Killercat: 其實AMSL錫蒸氣光源一直不是啥秘密雖然細節是商業機密 但是總有個大方向，要自己走另一條路應該是有什麼理由才是12F 57.140.96.40 台灣 05/02 14:46
→ olozil: 卡專利跟管制阿16F 42.72.207.54 台灣 05/02 15:08
→ ssddeeww: 跟大陸談專利？17F 27.51.57.100 台灣 05/02 15:26
→ Killercat: 他們EUV要卯足全力又不賣海外的話專利應該不會是他們的考量18F 57.140.96.40 台灣 05/02 15:41
推 woulin: 中國即將攻克EUV, GG還能有多久優勢20F 114.137.110.178 台灣 05/02 16:45
推 RTA: 重點是中國有梁孟松啊，人家有EUV再把台積那套良率提升導入，會比英特爾三星還快22F 101.8.78.121 台灣 05/02 17:16
推 scitamehtam: 推，願意投資尖端技術，觀念正確
陸方在軟體、電動車、無人機、新能源、造船、面板幾乎稱霸，現在資源往半導體去，一項一項突破，至少比台灣還在吃台積電老本有遠見，台灣還在意識形態內鬥中25F 223.140.166.146 台灣 05/02 18:16
推 apple123773: 痾...喜歡就好XDD31F 36.233.245.235 台灣 05/02 18:54
噓 NTUCS5566: 台積吃老本耶 嘻嘻32F 111.80.3.188 台灣 05/02 20:10
噓 keter007: 吹很大33F 1.161.199.201 台灣 05/02 20:42
推 maikxz: CO2轉換雷射效率約20%左右
固態雷射遠遠不及氣體雷射
其他的還可以，但大雷射只能用氣體34F 111.249.25.222 台灣 05/02 21:45
推 focoket12: 笑死 真以為梁孟松有那麼多料呀！沒發現他經手的東西都是虧錢爛尾的多嗎？什麼三星發熱呀！中興良率低報的七奈米！37F 67.138.178.169 美國 05/03 06:27

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