看板 Gossiping作者 cico325 (ZYX先生)標題 [新聞] 台積電研發副總林本堅 獲IEEE西澤潤一獎時間 Tue Jun 25 23:33:07 2013
1.媒體來源:
中時電子報
2.完整新聞標題/內文:
台積電研發副總林本堅 獲IEEE西澤潤一獎
台積電研發副總經理林本堅因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就
，獲頒今年度的國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎（Jun-ichi Nishizawa
Medal）。
林本堅是半導體業界第一位發明以水當成微影介質，讓台積電及其它半導體廠得以開發出
浸潤式微影技術，推進半導體製程順利進入28奈米及20奈米世代，因此，IEEE頒發西澤潤
一獎項給林本堅，以表彰其對半導體產業的特殊貢獻。
林本堅是1987年在IBM工作時，就提出浸潤式的微影技術概念，2002年時，林本堅已在台
積電擔任微影技術研發負責人，當時半導體產業正在思考，當製程技術微縮到90奈米以下
時，微影技術該何去何從。
林本堅表示，當時產業界及主要設備廠主要設計出的157nm微影設備，但技術太過複雜，
對半導體廠來說製造難度很高，所以，他發現以水作為介質，可讓193nm微影設備延續使
用，並可持續推進製程微縮速度。
林本堅說，當初想到用水當成介質，其實只是想到在半導體實務經驗中，水是大家可以普
遍接受的材料，隨處都有且不會造成污染，只是沒想到這個想法，後續獲得各家半導體廠
認同，均統一採用水作為介質。
台積電自40奈米開始採用浸潤式微影製程，現在量產中的28奈米，以及即將量產的20奈米
，均延續採用。林本堅表示，浸潤式微影製程看來可以繼續採用在16奈米及10奈米，成為
有史以來，半導體微影製程技術上最長命的技術。
林本堅因為發明浸潤式技術，讓台積電在40奈米之後的技術研發突飛猛進，現在已經能與
龍頭大廠英特爾並駕其驅。當然，林本堅帶領的研發部門，2000年員工人數只有50人，但
現在已擴大到500人的規模，成為台積電技術研發上的先鋒團隊。
至於台積電下一世代的微影技術研發，林本堅表示，極紫外光（EUV）及多重電子束（
Multi e-Beam）仍是選項，EUV的問題在於光源的功耗及每小時可處理的晶圓片數仍不足
，因此製造成本仍高於現在採用的多重曝光，至於多重電子束則決定朝向高功耗的技術發
展。
3.新聞連結:
http://ppt.cc/OWBR
4.備註:
不知這種強人在台積年薪多少
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 60.244.37.179
推 bluebluelan:他1987年就在IBM當研發惹 年薪應該五千萬~一億左右9F 06/25 23:36
→ alibudah:等張忠謀百年以後 中芯就可以準備併台積店了11F 06/25 23:36
※ 編輯: cico325 來自: 60.244.37.179 (06/25 23:37)
推 ian00022:某人應該不知道台GG的市值
套一句張董的話:半導體不是你有錢就能玩得起12F 06/25 23:37
→ alibudah:蔡力行當家的時候股價多少 市值值多少 別用現在的股價看14F 06/25 23:39
→ terry1043:希望不要有這一天啊...
台GG=台灣16F 06/25 23:40
→ MacOSX10:某人應該不知道台積有很多中芯的股票18F 06/25 23:42
推 sugozu:中芯不虧錢都很拼了 還想併台G19F 06/25 23:43
→ MacOSX10:我覺得他們大概文組的吧，對業界也沒什麼sense20F 06/25 23:45
推 alibudah:去年已經出脫一堆了 my都沒在看啊21F 06/25 23:46
→ mvbkoko:最好是中芯有才調併GG,有句話說的很好，聰明有極限，愚蠢則無。某人完美的詮釋這句話22F 06/25 23:47
→ farsex:中芯賠台積電 8% 中芯股票，有額外認購 2% 的話，持股 10%24F 06/25 23:49
→ rats:中芯的股票GG處理得差不多了啦 不過服貿協議對GG會有影響嗎25F 06/25 23:49
→ mvbkoko:中芯被GG告到脫褲子，都要變成GG分店了，還吃GG咧26F 06/25 23:49
→ terry1043:理工也不見得有sense啊 又不是每個都是從事科技業28F 06/25 23:51
推 alibudah:就說版上嘴泡一堆都沒看過my 還敢說多瞭解這個產業29F 06/25 23:51
→ mvbkoko:想威脅GG, 外星科技的intel是一個，地球科技的三星是一個中芯? 連GF UMC這種等級的都打不過，還想吃GG，這種話中芯自己都不敢講，只有完美詮釋愚蠢無極限的鄉民敢嘴砲而已30F 06/25 23:53
→ boyalan:老四還早吧 沒啥威脅性33F 06/25 23:55
推 alibudah:再怎麼蠢都比沒資格看my的 瞭解這個產業多太多了35F 06/25 23:57
→ mvbkoko:看了還能發表這種言論，只能掬一把同情之淚
真是嘴炮無極限36F 06/26 00:00
→ rats:my不就是各大報有GG關鍵字的新聞貼一貼而已嗎XD38F 06/26 00:02
推 patato2:中芯併台積?! 哈哈哈哈這哪來的活寶
台G根本不怎麼想要中芯股票啊39F 06/26 00:08
推 rrrz:八卦板一堆科技業外行又愛發表高論 看過一次後完全不想討論跟這些人在八卦談科技業根本浪費時間 只會出張嘴嗆魯蛇輸國外41F 06/26 00:11
→ farsex:懂科技業跟買股票是不相關的東西，能否併購沒什麼好討論。43F 06/26 00:16
→ Korb:八卦版果然一堆魯蛇在流竄，愚蠢至極44F 06/26 00:46
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