看板 Gossiping作者 ams9 (大發利市)標題 [新聞] 台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣時間 Mon Apr 12 20:52:11 2021
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1.媒體來源: 自由時報
2.記者署名: 記者洪友芳/新竹報導
3.完整新聞標題:
台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電
4.完整新聞內文:
2021/04/12 05:30
半導體業先進製程進入極紫外光(EUV)微影技術時代,台積電率全球業界之
先,在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠,超越英特爾、
三星,但EUV耗電大也被視為一大隱憂。台積電前研發副總經理、現任清華大
學講座教授林本堅指出,昂貴的EUV機台設備不僅花費多、耗電也多,氫氣用
量也相當多,生產後的氫氣足以建氫氣發電廠,他建議政府可將氫氣發電列
為發電能源。
EUV是七奈米及其以下先進製程必要的關鍵設備,全球能生產製造EUV機台設
備的僅荷商艾司摩爾(ASML),每台售價超過三十億台幣,非常昂貴,台積
電在南科十八廠的五奈米製程首度全採用EUV,估計去年就裝機逾三十台,帶
動台積電資本支出逐年攀新高;EUV因光源反射過程耗損大,能源轉換極低,
耗電量相當大。
發明浸潤式(Immersion)微影技術改寫全球半導體業發展的林本堅表示,隨
著半導體技術往先進製程發展,「微影勢必要跑到EUV」;他說,半導體廠要
進入EUV擁有「五多」條件,包括昂貴設備需要花很「多」錢、龐大設備需求
空間也「多」、用水「多」、用電「多」、需求氫氣也很「多」。
氫氣發電無二氧化碳等汙染
林本堅舉例,他在台積電還沒退休、約五年多前,當時公司內的EUV設備可能
只有二到三台,但廠區加上其他設施每天使用氫氣量約要運送一輛槽車,以
目前EUV設備機台數,恐要幾十輛槽車氫氣用量,如此用量,足以支持建一個
氫氣發電廠;氫氣發電不會有二氧化碳等汙染問題,國外已有氫氣發電廠,
這當然也要看成本,但他認為應該划得來。
林本堅建議,政府可協助規劃用地建氫氣發電廠,不只台積電用到氫氣,其
他半導體廠也都要使用氫氣,集中起來變發電廠就是最好的綠色能源。
5.完整新聞連結 (或短網址):
https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442560
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→ gogobar …
噓 gogobar: 母豬蔡陰魂廢核電,現在才在那邊東湊西湊,可悲到極點1F 04/12 20:52
推 cwh0105: ㄟ所以本來沒有喔 我以為汽電早就有在做了3F 04/12 20:55
→ hoin: 1F大概不知道林本堅是什們人物4F 04/12 20:55
推 wincentt: 國家給台積電經營好了~資進黨真的是廢物5F 04/12 20:55
推 adagiox: 挺有意思的 原本氫氣發電貴在氫氣運輸、氫成本也不用6F 04/12 20:56
推 nctugoodman: 台積去年之接買了沃旭 34.5億度/年 發電 共20年7F 04/12 20:56
→ adagiox: 台積電可真是會Costdown8F 04/12 20:56
噓 darkholy: 別鬧了,氫氣怎麼來的?產生氫氣還是需要一堆電啊10F 04/12 20:59
推 scu96: 無污染 不錯啊11F 04/12 21:00
推 mecca: 他的意思不是製程回收的氫氣順便拿來用嗎?不過既然可以回收幹嘛不繼續用在製程??這篇看沒有12F 04/12 21:02
推 chihyu729: 聽起來問題應該是發電功率高不高,樂觀其成14F 04/12 21:03
推 saygogo: 10只看新聞標題嗎15F 04/12 21:03
推 newwind: 用過後。 純度不夠了吧16F 04/12 21:03
推 F93935: 噓文的可能不知道林本堅多神 可悲18F 04/12 21:05
推 ai8051: 一個讓ASML嚇到閃尿的人物19F 04/12 21:08
推 riker729: 回收氫氣發電啦! 但怕的是混雜有毒物.......20F 04/12 21:08
→ Refauth: 所以林本堅到底是什麼人物?還是什們人物??22F 04/12 21:10
推 tedchen1025: Ben 的 immersion lithography真的是神來一筆,說真23F 04/12 21:11
→ zzoohh: 聽起來蠻好的24F 04/12 21:11
→ vdml: 要用燒的還是用燃料電池模組?26F 04/12 21:16
→ jerrylin: 台灣有專門做氫氣的公司啊 聯華30F 04/12 21:17
推 nitvx: 台GG直接自己蓋電廠吧31F 04/12 21:18
推 pandp: 政府就是要規劃缺電的,不要破壞規劃35F 04/12 21:32
推 gaduoray: 是回收的純度不夠EUV用才拿來發電吧 不過會讓人好奇現在的廢氫都哪裡去了XD38F 04/12 21:37
推 marknm: 這樣自己還需要買綠電???40F 04/12 21:38
→ G8AJ: 能做早做了41F 04/12 21:41
推 rock0807: 把DUV操到七奈米的史詩級人物42F 04/12 21:49
推 gglong: 氫氣怎麼生產43F 04/12 21:49
推 info1994: 做回收的只要沒良心就很賺錢啊44F 04/12 21:50
推 pipiayin: 台積電居然會浪費氫氣 難以想像45F 04/12 22:04
推 ots625: 廢氫與其他化學氣體一起燒啊?46F 04/12 22:19
→ zzahoward: 台灣產氫氣的廠很多啊 三福聯華亞東國喬....等
高純度的主要是進口乙醇裂解 中低純度的就是石化副產品49F 04/12 22:27
推 shuhao233: 現在回收氫效率足以發電了喔? 有沒有人能講一下?51F 04/12 22:39
推 ankrro: 回收剩不到80趴,純度也差一點,輸送還是要用到電,應該是賠錢不討好,然GG早做了52F 04/12 22:55
→ ijnokm: 沒有林本堅,可能就沒有現在的ASML54F 04/12 23:08
→ qaz630210: 就像台塑自己蓋海淡廠一樣,台GG這麼賺又這麼耗能,是該自己蓋電廠創造多贏55F 04/12 23:11
→ jjez168: 林本堅是讓ASML跟台積電一起走向稱霸的關鍵人物57F 04/12 23:21
推 myth0422: 蓋電廠跟經營電廠是兩回事 請三思58F 04/12 23:21
推 Eclipsis: 科學人第42期封面文章講浸潤式微影術那期還留著都小學中年級的事了59F 04/12 23:30
推 Rucca: 反核:氫氣發電會不會爆炸?62F 04/13 00:11
推 aitela: 推林本堅教授63F 04/13 02:45
噓 ggcggc: 推文一堆文組 笑了65F 04/13 04:11
噓 daye2012: 這篇在寫什麼啊,EUV用氫氣用很凶,然後要求蓋氫氣發電?66F 04/13 08:36
推 newtana: 噓的是文盲看不懂在講什麼嗎? 啊抱歉我忘了柯韓糞的水準68F 04/13 08:45
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