※ 本文為 MindOcean 轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2020-01-19 09:48:52
看板 Gossiping
作者 標題 [問卦]中國想要的 ASML 光刻機 有多難做?
時間 Sat Jan 18 18:28:57 2020
最近看到中國威脅荷蘭的ASML的光刻機廠商
不賣會影響中荷關係
讓人不禁好奇
ASML光刻機 一台要價1.5億美金
可以做5nm以下 (奈米)的晶片電路的切割
可見經由這台光刻機做出的晶片肯定是省電 又高效能的晶片
請問
這台究竟有多難做呢
有相關的領域的資料可以討論嗎
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 219.68.126.149 (臺灣)
※ 文章代碼(AID): #1U8jthMg (Gossiping)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1579343339.A.5AA.html
推 : 樓下你的老婆有多難找1F 223.139.216.173 台灣 01/18 18:29
※ 編輯: Marcin (219.68.126.149 臺灣), 01/18/2020 18:30:12→ : 只有一家能做，你說說看2F 42.72.79.114 台灣 01/18 18:30
噓 : 不查查是否有獨佔市場的問題嗎3F 1.200.206.199 台灣 01/18 18:31
推 : 光刻機是不是就是曝光機?4F 42.73.113.30 台灣 01/18 18:31
推 : 全世界都看他臉色的公司5F 42.77.40.155 台灣 01/18 18:33
推 : 人有多大膽6F 39.11.163.85 台灣 01/18 18:37
→ : 地有多大產
→ : 地有多大產
→ : 以為有機台就可以量產嗎8F 218.166.6.48 台灣 01/18 18:40
噓 : 本文一定文組發文，錯到不忍直視。9F 180.217.239.161 台灣 01/18 18:41
推 : 精華在reticle到wafer alignment速度10F 150.116.105.35 台灣 01/18 18:42
→ : 跟準確
→ : 跟準確
→ : 獨佔!? 那中共就自己做啊！也沒國家阻攔12F 42.72.79.114 台灣 01/18 18:43
噓 : 你文組齁 切割三小13F 223.136.57.208 台灣 01/18 18:46
推 : 台灣叫曝光機，以前是日本佳能稱霸這14F 36.227.9.41 台灣 01/18 18:46
→ : 市場
→ : 市場
推 : 電路切割？？16F 180.217.137.196 台灣 01/18 18:48
→ : 不是切割，是把圖樣印上去而已17F 27.52.62.41 台灣 01/18 18:49
→ : 新的應該滿難的吧 nikon canon都跟不上了18F 1.160.98.221 台灣 01/18 18:49
推 : 錯多到懶得吐槽了20F 223.140.166.100 台灣 01/18 18:50
→ : 雷射每秒發射5萬次將30微米錫珠打成電漿21F 219.91.9.86 台灣 01/18 18:59
→ : 產生13.5奈米EUV脈衝 只有2%能量到達晶圓
→ : 機器需真空 空氣玻璃對EUV而言都是不透明
→ : 還要需克服電漿汙染反射鏡面跟雷射發射器
→ : 還要找到適合的材質覆蓋光罩避免汙染晶圓
→ : 但該材質又必須讓EUV能穿透過去
→ : 影片中我大概聽到的內容是這樣
→ : 感覺應該蠻難的
→ : 還提到EUV主要會是用來降低曝光次數
→ : 將原本可能需要多次曝光的步驟變成一次
→ : EUV並不會取代所有曝光 而是取代一部分
→ : 產生13.5奈米EUV脈衝 只有2%能量到達晶圓
→ : 機器需真空 空氣玻璃對EUV而言都是不透明
→ : 還要需克服電漿汙染反射鏡面跟雷射發射器
→ : 還要找到適合的材質覆蓋光罩避免汙染晶圓
→ : 但該材質又必須讓EUV能穿透過去
→ : 影片中我大概聽到的內容是這樣
→ : 感覺應該蠻難的
→ : 還提到EUV主要會是用來降低曝光次數
→ : 將原本可能需要多次曝光的步驟變成一次
→ : EUV並不會取代所有曝光 而是取代一部分
→ : 切割？32F 223.137.217.229 台灣 01/18 19:11
推 : 佳能現在科科了...33F 1.169.137.86 台灣 01/18 19:11
噓 : 切割？多唸點書 可憐34F 42.73.47.35 台灣 01/18 19:12
推 : 那個鏡面不就蔡斯的 一個也是超貴35F 27.247.196.219 台灣 01/18 19:13
→ : 雞掰難做36F 223.140.198.83 台灣 01/18 19:17
→ : 幹而且不是切割 ....
→ : 幹而且不是切割 ....
推 : 至少台灣做不出來啦38F 101.12.66.158 台灣 01/18 19:24
推 : 文組求解 我也不懂39F 175.96.67.101 台灣 01/18 19:24
→ : 那這樣世界IC大廠不就應該是ASML,誰有機器
→ : 誰贏
→ : 那這樣世界IC大廠不就應該是ASML,誰有機器
→ : 誰贏
→ : 省電？42F 218.164.69.122 台灣 01/18 19:29
噓 : 你中國人484 還在狀況外？43F 36.232.4.81 台灣 01/18 19:46
推 : 你有機器 還要克服一堆效應啊== 只是能44F 223.140.198.83 台灣 01/18 19:46
→ : 做不代表你做得出來
→ : 做不代表你做得出來
→ Kaskade …
→ : 台積電跟asml同個媽媽47F 27.52.198.17 台灣 01/18 20:08
噓 : 文組48F 211.21.170.138 台灣 01/18 21:32
推 : 殼拆掉 長的跟密卡登的身體一樣49F 101.9.147.2 台灣 01/18 22:00
推 :50F 114.43.109.49 台灣 01/18 22:15
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※ 看板: Gossiping 文章推薦值: -1 目前人氣: 0 累積人氣: 2172
(￣︶￣)ｂ zxcvbnasd1 說讚！ (￣︿￣)ｐ llcs01113, simon9331 說瞎！
1樓 時間: 2020-01-19 10:09:47 (台灣)
→
(編輯過) TW
光刻機雖然對但我們沒人這麼講，業界都是稱stepper 新竹的餐廳或商店的特約公司有時看蠻好玩的，有些一面牆上好幾家世界第一 排在一起。旁邊的瑞昱半導體也不簡單迄今，半數以上的Windows桌機和筆電均內建其音效卡。
![[圖]](https://i.imgur.com/1lqXkdv.jpg)
2樓 時間: 2020-01-19 10:08:17 (台灣)
→
01-19 10:08 TW
china先自己不能造假地確實研究出5微米尺度晶片 所需的光刻機製造工法！ 從5微米開始 並發展出低階精片的市場應用！ 成功後 開始挑戰0.5微米 發現並解決所遇到的困難 成功後就能進展到0.05微米！13億人口國家的國家級科研團隊 如果辦不到從5微米光刻機的研發 要怪誰呢？
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