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作者 ams9 (大發利市)
標題
 [新聞] 台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣

時間 Mon Apr 12 20:52:11 2021


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1.媒體來源: 自由時報

2.記者署名: 記者洪友芳/新竹報導

3.完整新聞標題:

    台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電

4.完整新聞內文:

    2021/04/12 05:30

    半導體業先進製程進入極紫外光(EUV)微影技術時代,台積電率全球業界之
    先,在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠,超越英特爾、
    三星,但EUV耗電大也被視為一大隱憂。台積電前研發副總經理、現任清華大
    學講座教授林本堅指出,昂貴的EUV機台設備不僅花費多、耗電也多,氫氣用
    量也相當多,生產後的氫氣足以建氫氣發電廠,他建議政府可將氫氣發電列
    為發電能源。


    EUV是七奈米及其以下先進製程必要的關鍵設備,全球能生產製造EUV機台設
    備的僅荷商艾司摩爾(ASML),每台售價超過三十億台幣,非常昂貴,台積
    電在南科十八廠的五奈米製程首度全採用EUV,估計去年就裝機逾三十台,帶
    動台積電資本支出逐年攀新高;EUV因光源反射過程耗損大,能源轉換極低,
    耗電量相當大。


    發明浸潤式(Immersion)微影技術改寫全球半導體業發展的林本堅表示,隨
    著半導體技術往先進製程發展,「微影勢必要跑到EUV」;他說,半導體廠要
    進入EUV擁有「五多」條件,包括昂貴設備需要花很「多」錢、龐大設備需求
    空間也「多」、用水「多」、用電「多」、需求氫氣也很「多」。



    氫氣發電無二氧化碳等汙染

    林本堅舉例,他在台積電還沒退休、約五年多前,當時公司內的EUV設備可能
    只有二到三台,但廠區加上其他設施每天使用氫氣量約要運送一輛槽車,以
    目前EUV設備機台數,恐要幾十輛槽車氫氣用量,如此用量,足以支持建一個
    氫氣發電廠;氫氣發電不會有二氧化碳等汙染問題,國外已有氫氣發電廠,
    這當然也要看成本,但他認為應該划得來。


    林本堅建議,政府可協助規劃用地建氫氣發電廠,不只台積電用到氫氣,其
    他半導體廠也都要使用氫氣,集中起來變發電廠就是最好的綠色能源。


5.完整新聞連結 (或短網址):

    https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442560
台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電 - 自由財經
[圖]
〔記者洪友芳/新竹報導〕半導體業先進製程進入極紫外光(EUV)微影技術時代,台積電率全球業界之先,在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠,超越英特爾、三星,但EUV耗電大也被視為一大隱憂 ...

 

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gogobar 
gogobar: 母豬蔡陰魂廢核電,現在才在那邊東湊西湊,可悲到極點1F 04/12 20:52
userpeter:2F 04/12 20:53
cwh0105 
cwh0105: ㄟ所以本來沒有喔 我以為汽電早就有在做了3F 04/12 20:55
hoin: 1F大概不知道林本堅是什們人物4F 04/12 20:55
wincentt: 國家給台積電經營好了~資進黨真的是廢物5F 04/12 20:55
adagiox: 挺有意思的 原本氫氣發電貴在氫氣運輸、氫成本也不用6F 04/12 20:56
nctugoodman: 台積去年之接買了沃旭 34.5億度/年 發電 共20年7F 04/12 20:56
adagiox: 台積電可真是會Costdown8F 04/12 20:56
pin0810: 1F 只認識蔡英文9F 04/12 20:57
darkholy: 別鬧了,氫氣怎麼來的?產生氫氣還是需要一堆電啊10F 04/12 20:59
scu96: 無污染 不錯啊11F 04/12 21:00
mecca: 他的意思不是製程回收的氫氣順便拿來用嗎?不過既然可以回收12F 04/12 21:02
mecca: 幹嘛不繼續用在製程??這篇看沒有
chihyu729: 聽起來問題應該是發電功率高不高,樂觀其成14F 04/12 21:03
saygogo: 10只看新聞標題嗎15F 04/12 21:03
newwind: 用過後。 純度不夠了吧16F 04/12 21:03
wvotyyj5: 如果不小心炸掉就屎定了17F 04/12 21:05
F93935: 噓文的可能不知道林本堅多神 可悲18F 04/12 21:05
ai8051: 一個讓ASML嚇到閃尿的人物19F 04/12 21:08
riker729: 回收氫氣發電啦! 但怕的是混雜有毒物.......20F 04/12 21:08
panzerbug: 台積電廠,吊打台電21F 04/12 21:09
Refauth: 所以林本堅到底是什麼人物?還是什們人物??22F 04/12 21:10
tedchen1025: Ben 的 immersion lithography真的是神來一筆,說真23F 04/12 21:11
zzoohh: 聽起來蠻好的24F 04/12 21:11
tedchen1025: 的 真的會咬人的狗是不會叫的25F 04/12 21:11
vdml: 要用燒的還是用燃料電池模組?26F 04/12 21:16
richard42: 台積電自己蓋電廠吧 別再用台電了27F 04/12 21:16
leoloveivy: who cares28F 04/12 21:16
tokyoto: https://reurl.cc/xg8xaV 他愛台灣就贏那些叛將十條街了29F 04/12 21:17
台積電關鍵技術推手 林本堅婉拒中企挖角 - 自由財經
[圖]
六年前退休轉任教清大 〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅接受本報專訪首度坦承,二○一五年十一月自台積電退休後,中國一些半導體公司想找他去主持研發,但他毫不考 ...

 
jerrylin: 台灣有專門做氫氣的公司啊  聯華30F 04/12 21:17
nitvx: 台GG直接自己蓋電廠吧31F 04/12 21:18
a12349221: 缺電危機開始32F 04/12 21:19
king84519: 他誰有執政黨專業嗎?33F 04/12 21:24
feliz5566: 不知道成本效益如何34F 04/12 21:28
pandp: 政府就是要規劃缺電的,不要破壞規劃35F 04/12 21:32
babyMclaren: 小菸說藏電+綠能夠用就是夠用36F 04/12 21:34
dawson0130: 1F 水準真的有夠....?37F 04/12 21:36
gaduoray: 是回收的純度不夠EUV用才拿來發電吧 不過會讓人好奇現38F 04/12 21:37
gaduoray: 在的廢氫都哪裡去了XD
marknm: 這樣自己還需要買綠電???40F 04/12 21:38
G8AJ: 能做早做了41F 04/12 21:41
rock0807: 把DUV操到七奈米的史詩級人物42F 04/12 21:49
gglong: 氫氣怎麼生產43F 04/12 21:49
info1994: 做回收的只要沒良心就很賺錢啊44F 04/12 21:50
pipiayin: 台積電居然會浪費氫氣 難以想像45F 04/12 22:04
ots625: 廢氫與其他化學氣體一起燒啊?46F 04/12 22:19
kissa0924307: 天然氣電廠需要氫氣冷卻發電機啊~ 用量其實也不小47F 04/12 22:22
gungunme5566: 我怎麼看不懂這篇氫氣怎麼來的48F 04/12 22:22
zzahoward: 台灣產氫氣的廠很多啊 三福聯華亞東國喬....等49F 04/12 22:27
zzahoward: 高純度的主要是進口乙醇裂解 中低純度的就是石化副產品
shuhao233: 現在回收氫效率足以發電了喔? 有沒有人能講一下?51F 04/12 22:39
ankrro: 回收剩不到80趴,純度也差一點,輸送還是要用到電,應該是52F 04/12 22:55
ankrro: 賠錢不討好,然GG早做了
ijnokm: 沒有林本堅,可能就沒有現在的ASML54F 04/12 23:08
qaz630210: 就像台塑自己蓋海淡廠一樣,台GG這麼賺又這麼耗能,是55F 04/12 23:11
qaz630210: 該自己蓋電廠創造多贏
jjez168: 林本堅是讓ASML跟台積電一起走向稱霸的關鍵人物57F 04/12 23:21
myth0422: 蓋電廠跟經營電廠是兩回事 請三思58F 04/12 23:21
Eclipsis: 科學人第42期封面文章講浸潤式微影術那期還留著都小學59F 04/12 23:30
Eclipsis: 中年級的事了
p1227426: 你自己蓋電廠呀61F 04/12 23:35
Rucca: 反核:氫氣發電會不會爆炸?62F 04/13 00:11
aitela: 推林本堅教授63F 04/13 02:45
raxjimmy: 那製作氫氣的能量哪裡?64F 04/13 03:02
ggcggc: 推文一堆文組 笑了65F 04/13 04:11
daye2012: 這篇在寫什麼啊,EUV用氫氣用很凶,然後要求蓋氫氣發電66F 04/13 08:36
daye2012: ?
newtana: 噓的是文盲看不懂在講什麼嗎? 啊抱歉我忘了柯韓糞的水準68F 04/13 08:45

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※ 看板: Gossiping 文章推薦值: 3 目前人氣: 0 累積人氣: 662 
( ̄︶ ̄)b a0987789369, JosephC0227, sin8143 說讚!
1樓 時間: 2021-04-12 21:48:25 (台灣)
  04-12 21:48 TW
喔喔
2樓 時間: 2021-04-12 21:53:04 (台灣)
+1 04-12 21:53 TW
推 mecca: 他的意思不是製程回收的氫氣順便拿來用嗎?不過既然可以回收12F 04/12 21:02
→ mecca: 幹嘛不繼續用在製程??這篇看沒有
----純度問題,就這樣,但是用在燃燒發電上還可以
3樓 時間: 2021-04-12 22:58:46 (台灣)
  04-12 22:58 TW
國民黨:我們懷念核四
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