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作者 標題 [新聞] 英特爾擴展與ASML合作 下訂首台先進EUV
時間 Wed Jan 19 19:48:36 2022
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原文標題：英特爾擴展與ASML合作 下訂首台先進EUV系統
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原文連結：
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英特爾擴展與ASML合作 下訂首台先進EUV系統 | 產經 | 中央社 CNA
![[圖]]()
英特爾（Intel）今天宣布，已向半導體微影設備廠艾司摩爾（ASML）下訂首台具備高數值孔徑（High-NA）的極紫外光大量生產系統TWINSCAN EXE 5200，延續雙方長遠合作關係。 ...
![[圖]](https://imgcdn.cna.com.tw/www/images/pic_fb.jpg)
發布時間：2022/1/19 19:25
(請以原文網頁/報紙之發布時間為準)
原文內容：
（中央社記者張建中新竹19日電）英特爾（Intel）今天宣布，已向半導體微影設備廠艾司
摩爾（ASML）下訂首台具備高數值孔徑（High-NA）的極紫外光大量生產系統TWINSCAN EXE
5200，延續雙方長遠合作關係。
摩爾（ASML）下訂首台具備高數值孔徑（High-NA）的極紫外光大量生產系統TWINSCAN EXE
5200，延續雙方長遠合作關係。
英特爾表示，去年7月即公開宣布部署首款High-NA技術的計畫，確立電晶體創新路線圖發展
。其實英特爾早在2018年便是之前TWINSCAN EXE 5000系統的首位買家，這次下訂TWINSCAN
EXE 5200，是延續與ASML的合作關係。
。其實英特爾早在2018年便是之前TWINSCAN EXE 5000系統的首位買家，這次下訂TWINSCAN
EXE 5200，是延續與ASML的合作關係。
英特爾指出，保持半導體微影技術的領先地位是英特爾的重點，去年持續不斷打造EUV的專
業知識和能力，透過與ASML的密切合作，將汲取High-NA EUV的高階析度圖案化優勢，作為
延續摩爾定律的其中一個方式，並將英特爾追尋電晶體微縮的優良傳統延續下去。
業知識和能力，透過與ASML的密切合作，將汲取High-NA EUV的高階析度圖案化優勢，作為
延續摩爾定律的其中一個方式，並將英特爾追尋電晶體微縮的優良傳統延續下去。
ASML的EXE平台為極紫外光（EUV）技術的演化步驟，英特爾表示，其包含新穎的光學設計與
大幅提升速度的光罩與晶圓階段。
英特爾指出，系統所具備的數值孔徑結合使用波長，決定了最小能夠印製的特徵尺寸。TWIN
SCAN EXE 5000和EXE 5200系統與之前EUV機器所具備的0.33數值孔徑鏡片相比，提供更高精
確度的0.55數值孔徑，為更小的電晶體特徵提供更高的解析度圖案化。
SCAN EXE 5000和EXE 5200系統與之前EUV機器所具備的0.33數值孔徑鏡片相比，提供更高精
確度的0.55數值孔徑，為更小的電晶體特徵提供更高的解析度圖案化。
英特爾表示，2025年將開始以高數值孔徑EUV進行生產製造。新下訂的TWINSCAN EXE 5200每
小時具備200片以上晶圓產能。（編輯：潘羿菁）
心得/評論： ※必需填寫滿30字，無意義者板規處分
原來這就是讓AMD變後照鏡的原因
三星GG也快要在後照鏡看到了
早買早享受
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推 : 已知用火1F 01/19 19:51
推 : 20252F 01/19 19:52
噓 : 良率呢3F 01/19 19:52
→ : Gg2奈米都要量產了吧4F 01/19 19:53
推 : 這台很重要，是能否量產3nm以下的關鍵5F 01/19 19:55
→ : 買來做14奈米？6F 01/19 19:55
推 : GG明天會跌停嗎 怕7F 01/19 19:56
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→ : INTEL跟三星哪個嘴砲比較強??9F 01/19 20:01
推 : 笑死 作秀而已 買回去也不會用10F 01/19 20:01
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→ : EUV的量產技術很多是台積電的專利
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→ : 設備不是有就好餒 還要會用
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→ : i皇不再堅持使用DUV後，技術發展會很快
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→ : 喔還有18A說要2025試產果然是喊假的25F 01/19 20:54
推 : 這台是高數值孔徑的新貨27F 01/19 21:00
→ : EUV 改
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→ : 當初intel還是三家投資ASML最多的29F 01/19 21:02
→ : 光源一樣啦 輸出和更高NA鏡面組是ASML想辦法 目前卡關最30F 01/19 21:02
→ : 大的光阻光阻是材料廠要突破 所以Intel的技術是？
→ : 不要跟我說Intel的技術優勢是拉yield喔
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推 : 18A要看ASML什麼時候交貨，不交貨也試產不了，intel 333F 01/19 21:03
→ : 目標是月產能三萬片，所以EUV也不用太多台
→ : 目標是月產能三萬片，所以EUV也不用太多台
→ : 是搶不到機台所以才月產三萬片 因果關係反了XD35F 01/19 21:06
→ : 花大錢推進製程結果三萬片攤研發成本 大部份外包 神決策
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推 : 殺雞焉用牛刀37F 01/19 21:07
推 : 技術在CES有講了，就化合物半導體和MESO38F 01/19 21:12
推 : 頭搖又尾擺 飛翔境界 不想一世只想一秒被放大 看後鏡中39F 01/19 21:15
→ : 便能愉快 你漸變小我強大 誰敢來表態
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→ brella …
推 : 根本只是為了買而買42F 01/19 21:34
推 : 能讓GG少買一台euv就是牙膏的勝利了。43F 01/19 21:38
推 : 一堆半導體外行人HIGH-NA EUV目前已經確定Intel領先量產44F 01/19 21:42
→ : intel想要high-na euv普通euv不想要所以機台採購不多
→ : HIGH NA EUV才是下一代關鍵機台
→ : intel想要high-na euv普通euv不想要所以機台採購不多
→ : HIGH NA EUV才是下一代關鍵機台
推 : 看CES學習半導體技術 呵呵呵47F 01/19 21:48
→ : 所以 各家的HIGH-NA EUV配額已經確定了嗎?48F 01/19 21:51
→ : 總不會I社先拿還獨佔吧
→ : 總不會I社先拿還獨佔吧
推 : 你要提IEDM也行，講的大同小異50F 01/19 22:01
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