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作者 ttucse ((((>(￣▽￣)<))))
標題 [問卦] 晶圓是怎麼對準光罩的
時間 Mon Apr 22 22:35:30 2024


晶圓在曝光的時候要對準光罩
曝光好幾次就要對準好幾次
要是沒對準不就廢了
我看要對準至少精度要到奈米等級吧
怎麼對準的啊
機器手臂或移動的裝置可以精確到奈米等級嗎？
也太厲害了吧

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.64.252 (臺灣)
※ 作者: ttucse 2024-04-22 22:35:30
※ 文章代碼(AID): #1c9dMsOI (Gossiping)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1713796534.A.612.html
推 nitvx: 小精靈1F 101.137.80.219 台灣 04/22 22:35
推 solomonABC: 用五樓的奈米屌2F 111.254.61.213 台灣 04/22 22:35
※ 編輯: ttucse (36.226.64.252 臺灣), 04/22/2024 22:36:54
噓 potential208: 都幾年了現在才知道？3F 219.86.9.15 台灣 04/22 22:36
→ Carmelo: 有好幾個對位mark4F 36.224.232.160 台灣 04/22 22:37
推 AmigoSin: 小精靈5F 42.72.64.36 台灣 04/22 22:37
推 ampeial: 對岸都用美工刀刻出三奈米 你還在用火6F 36.230.155.71 台灣 04/22 22:37
推 s871413: 自己的功課自己做7F 220.141.17.69 台灣 04/22 22:37
推 AgentSkye56: 拿鑷子喬角度吧8F 101.10.13.39 台灣 04/22 22:39
噓 Qoo20811: 有Lmark和檢測站看有沒有overlay9F 59.102.211.98 台灣 04/22 22:39
→ AgentSkye56: 去買幾支尺 你也可以對的很準10F 101.10.13.39 台灣 04/22 22:40
→ Sarvmill: 用戰略級的雷射定位基板定位beam11F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:40
→ jumperman: align mark和BIB overlay...12F 42.73.255.135 台灣 04/22 22:41
→ Sarvmill: 這種基板如果要進台灣必須先有美國老爸13F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:41
推 andy70612: 去問優志旺14F 36.238.48.107 台灣 04/22 22:41
→ Sarvmill: 同意，要換的申請很麻煩15F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:41
→ MKAngelheart: 曝光機是會曝alignment mark的 曝光前還有一大堆參數輸入 大可不必擔心 就算沒對準是可以rework的16F 42.76.166.220 台灣 04/22 22:42
噓 ionchips: 對位標記...19F 114.45.212.177 台灣 04/22 22:43
推 Sarvmill: 樓上的你說的只是靜態定位，畫片中還需要動態補償定位20F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:43
→ chris44099: 動感光波 啊哭胸畢姆22F 114.39.97.209 台灣 04/22 22:46
推 Sarvmill: 以shot數來說一片光罩以數億筆資料計23F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:47
推 NECKS: key24F 61.230.56.17 台灣 04/22 22:48
推 vapour1001: 你去當產線三寶中的籤王製程就知道了25F 111.83.136.216 台灣 04/22 22:53
→ aippa: 補正是同時進行的啦 一台這麼貴也不是賣假26F 42.72.143.221 台灣 04/22 22:53
→ kickmeout: 文具店就有賣了..加上WD40 好用27F 125.228.76.59 台灣 04/22 23:08

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