作者 yokann (早安魔關羽)標題 [新聞] 上銀與大銀微系統解決4mm晶圓翹曲痛點時間 Mon Sep 14 18:23:59 2026
原文標題: 上銀與大銀微系統解決4mm晶圓翹曲痛點
原文連結: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20260914002636-260410?chdtv
發布時間: 14:34 2026/09/14
記者署名: 莊富安
原文內容: 半導體產業持續發燒,為搶食龐大商機,上銀科技與大銀微系統聚焦晶圓定位、奈米級檢
測、矽光子應用、薄膜製程與先進封裝自動化,以MD-ZT多維度定位平台即時補正晶圓姿
態,提供半導體設備7天24小時精準長效運作,並在2026 SEMICON推出四大關鍵技術成果
。
首先是克服4mm晶圓翹曲,5個自由度MD-ZT定位平台進行翹曲補正,解決顯微對焦難題。
其次實現±1nm伺服穩定技術達100%檢出率,1-Nano驅控器具備±1nm伺服穩定效果,搭
配50~100高倍率鏡頭維持影像清晰。第三,矽光子耦合損耗<0.5dB,整合6軸精密微動模
組與直流驅動器±5nm控制,提升光耦合效率及尋光對位品質。第四,50,000小時MTBF量
產可靠度,精密運動技術結合PLP自動化次系統,達到200WPH長時間運轉可靠度,滿足先
進封裝及半導體設備穩定產出。
大銀微系統執行副總游凱勝指出,運用MD-ZT多維度定位平台,攻克邊緣翹曲4mm顯微對焦
問題,搭配大銀1-Nano驅控器,實現±1nm的成像穩定。
因應製程由圓轉方的新世代演進,310x310mm尺寸持續朝515x510mm發展,對於異質整合的
翹曲挑戰、長行程的累積誤差問題提供解決通案;MD-ZT多維度定位平台,具備5個自由度
的精準定位功能,可在晶圓檢測過程即時補正晶圓的姿態變化,有效克服鏡頭對焦問題,
提高量測/檢測效率達90%。最新推出的1-Nano驅控器(1-Nano Controller)可實現±1nm
的伺服穩定度技術,搭配高倍率顯微鏡的放大取像,影像清晰穩定,檢出率達100%,成
為高階量測與檢測設備的核心。
心得/評論:
結果今天一個跌停鎖死 一個跌5.7% 上銀最後盤後看結算外資倒貨五千多張
不知道何時才能回400 感覺CPO的夢快要GG惹
上方賣壓似乎有點沉重阿
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.229.10.47 (臺灣)
※ 作者: yokann 2026-09-14 18:23:59
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推 pkmfyw: 趕快出新聞準備出貨4F 09/14 18:46
推 wicer: 就是線軌跟導螺桿而已...6F 09/14 20:32
噓 roder: 一根8F 09/14 21:03
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